合肥先微半導體材料有限公司高純電子氣體新材料項目 環境影響報告書和公眾參與說明報批前公示

1、環境影響報告書信息公示說明

合肥先微半導體材料有限公司高純電子氣體新材料項目位于合肥新站高新技術產業開發區珠城西路與通寶路交口西北角。擬建設電子氣提純生產線、準分子激光氣體混配生產線、電子氣分裝生產線、半導體級高純氣體純化器生產線和超潔凈鋼瓶處理線；項目實施后高純三氟化硼（BF3）提純年產300噸；超純四氯化硅（SiCl4）提純年產300噸；年產準分子激光氣28000瓶，（其中193波長激光氣0.95%F2+3.5%Ar+Ne\13.5%Ar+10ppmXe+Ne，各3000瓶；248波長激光氣0.95%F2+1.25%Kr+Ne\1.25%Kr+Ne，各5000瓶；308波長激光氣4.5%HCl+1%H2+Ne\0.5%HCl+Ne\100ppm-10%H2+Ne，各4000瓶）；高純氧氣（O2）分裝年產1000噸；高純氫氣（H2）分裝年產40000瓶；高純八氟丙烷（C3F8）分裝年產300噸；高純一氧化二氮（N2O）分裝年產3000噸；超純二氧化碳（CO2）分裝年產10000噸；高純氮（N2）分裝年產3000噸；高純氬（Ar）分裝年產3000噸；高純氦（He）分裝年產20000瓶；液氦分裝年產50噸；半導體級高純氣體純化器年產1000套；超潔凈鋼瓶年處理量20000只。另進行甲烷（CH4）、硅烷（SiH4）、氯氣（Cl2）高純電子氣體產品儲存經營，年經營量分別為50t/a、10t/a、50t/a。

根據《環境影響評價公眾參與辦法》，現將項目環評報告及公眾參與說明（見附件）進行報批前公示。

2、建設單位及聯系方式

建設單位：合肥先微半導體材料有限公司

聯系電話：13665699325

聯系人：劉總

聯系地址：合肥新站高新技術產業開發區珠城西路與通寶路交口西北角

3、環評單位及聯系方式

評價機構：合肥市斯康環境科技咨詢有限公司

聯系方式：0551-65614551

聯系人：高工

聯系地址：合肥市廬陽區蒙城北路108號

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